電子光學產品生產技術推動了電子光學潔凈廠房的發展，兩者相互促進，電子光學潔凈廠房的建造滿足了電子產品生產工藝環境要求。那么，要如何建造電子光學潔凈廠房呢?今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!

　　電子光學潔凈廠房的設計建造和使用應做到不引入或少引入微粒，不產生或少產生微粒，不滯留或少滯留微粒。此外。電子光學潔凈廠房還對溫度、濕度、壓力等參數按產品生產要求進行控制。而根據產品要求需對潔凈室內的氣流分布、氣流速度以及噪聲、振動、靜電等進行控制。

　　電子光學潔凈廠房的設計和建造就是要在做好相關專業設計的基礎上，做好各項設施消防、防火、防爆、報警，確保潔凈室的運行。與此同時，他還要處理好電源、冷源、熱源等動力供應，節約能源：安排好各類配管配線，確保各種流體介質的輸送力量，減少材料消耗，方便施工安裝和運行維護。

　　一、前期規劃與準備

　　1、需求分析：明確廠房規模、產能、工藝要求，確定潔凈度等級(萬級)、溫濕度范圍(通常溫度24±2℃，相對濕度55±5%)、換氣次數(≥20次/小時)等核心參數。

　　2、選址與布局：選擇地質穩定、環境清潔的區域，合理劃分生產區、輔助區、辦公區、倉儲區及凈化空調系統區域，確保物流與人流分離，減少交叉污染。

　　3、資金與資源籌備：根據預算編制詳細成本計劃，提前采購進口設備(如高效過濾器、防靜電地板)及特殊材料(如PVC地板、巖棉板)，避免工期延誤。

　　二、結構設計優化

　　1、建筑形式：采用單層輕鋼結構或鋼筋混凝土框架，大跨度設計(如15m、30m)形成大空間，便于工藝布局調整。

　　2、圍護結構：

　　墻體：雙層玻璃幕墻或巖棉夾芯彩鋼板，內外層間填充巖棉保溫，接縫處用密封膠封堵。

　　屋面：輕鋼結構屋面，加設保溫層與防水層，坡度≥5%防止積水。

　　門窗：減少門窗數量，采用氣密性良好的雙層中空玻璃門和固定窗，門框嵌入密封條。

　　3、技術夾層：在吊頂上方設置技術夾層，用于敷設管道、電纜及安裝空調設備，減少對生產區的干擾。

　　三、通風空調系統設計

　　1、空氣凈化流程：新風→初效過濾器→中效過濾器→空調機組→高效過濾器(HEPA)→送風管道→潔凈區→回風百葉窗→初效過濾器，形成閉環凈化。

　　2、氣流組織：

　　萬級區域：采用頂送側回亂流形式，高效過濾器布置在頂棚，回風口設在墻面下方。

　　局部百級：在關鍵工序(如光刻)設置垂直層流工作臺，氣流方向與重力一致，減少顆粒沉積。

　　3、設備選型：

　　空調機組：模塊化設計，支持變頻調節，根據負荷動態調整送風量。

　　風機：選用低噪音、高效能離心風機，風壓滿足管道阻力要求。

　　過濾器：初效過濾效率≥80%，中效≥90%，高效(HEPA)≥99.97%。

　　四、防靜電與防震動控制

　　1、防靜電設計：

　　地面：鋪設防靜電環氧自流平或PVC地板，電阻值1×10?~1×10?Ω。

　　墻面與頂面：采用防靜電涂層或導電型彩鋼板，接地電阻≤1Ω。

　　設備與工具：使用防靜電工作臺、離子風機及導電輪推車，人員穿戴防靜電服、鞋和腕帶。

　　2、防震動控制：

　　設備基礎：精密儀器(如光刻機)采用獨立混凝土基礎，與廠房結構脫開。

　　管道支架：加裝橡膠減震墊，避免空調機組、風機等振動傳遞至潔凈區。

　　五、給排水與電氣系統設計

　　1、給排水系統：

　　給水：采用不銹鋼管道，支管設置倒流防止器，水質符合《電子級水》標準。

　　排水：暗敷排水管道，坡度≥1%，地漏采用潔凈型，水封高度≥50mm。

　　純水系統：設置預處理、反滲透、EDI模塊，產水電阻率≥18MΩ·cm，管道采用衛生級不銹鋼或Clean-PVC。

　　2、電氣系統：

　　供電：雙回路供電，關鍵設備(如空調機組)配置UPS不間斷電源。

　　照明：采用LED潔凈燈，照度≥300lx，無頻閃、無紫外線。

　　消防：設置極早期煙霧探測器，采用七氟丙烷氣體滅火系統，避免水漬損失。

　　六、施工安裝與質量控制

　　1、施工流程：

　　基礎施工：優先完成設備基礎及地下管道敷設，避免后期開挖破壞潔凈區。

　　主體結構：同步進行鋼結構安裝與圍護結構封閉，縮短工期。

　　裝飾裝修：先安裝防靜電地板，再施工墻面與頂面，最后安裝門窗及過濾器。

　　2、關鍵工序控制：

　　管道焊接：不銹鋼管道采用氬弧焊，層間溫度≤60℃，焊縫內表面呈銀白色。

　　過濾器安裝：高效過濾器安裝前進行檢漏測試，漏風率≤0.1%。

　　地面施工：環氧自流平分兩遍涂刷，每遍厚度≤1mm，24小時內禁止通行。

　　3、質量驗收：

　　潔凈度測試：采用粒子計數器檢測≥0.5μm顆粒數，萬級標準≤3,520,000個/m3。

　　風速與壓差：送風風速0.45±0.05m/s，相鄰潔凈區壓差≥5Pa。

　　通過以上措施，可顯著提升建造效率，確保電子光學潔凈廠房快速投產后穩定達標。建議選擇有電子行業經驗的EPC總包商，減少接口風險。